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    Product Category
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    產(chǎn)品名稱(chēng):

    TOC超純水設備

    產(chǎn)品品牌: Onyx/安力斯 價(jià)格:
    廠(chǎng)商性質(zhì): 生產(chǎn)廠(chǎng)家 產(chǎn)品時(shí)間: 2024-05-24
    TOC超純水設備指需電子行業(yè)用水,其水中要去除細菌、泥沙、膠體、懸浮物、金屬這些導電雜質(zhì)。其電阻率≥18MΩ/cm(25℃,EW-I)。

    產(chǎn)品概述

    TOC超純水設備

    微電子行業(yè)制備超純水流程中,因紫外線(xiàn)技術(shù)在超純水高品質(zhì)要求中不引入新的物質(zhì),而得到廣泛應用。

    有機物是超純水系統中最難控制的污染,隨著(zhù)集成電路臨界尺寸不斷縮小挑戰,對超純水中TOC值的要求越來(lái)越高,因此,如何配置紫外線(xiàn),如何確認配置中紫外線(xiàn)設備的有效紫外劑量,進(jìn)而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高,安力斯將為您解決這些運營(yíng)困擾。    

    185nmUV主要用于去除超純水制備過(guò)程中的TOC,使出水滿(mǎn)足美國ASTM超純水水質(zhì)標準及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標準。

    產(chǎn)品介紹:

    EX-UPW-TOC產(chǎn)品系列是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對總有機碳 (TOC) 進(jìn)行降解的先進(jìn)可靠系統。通過(guò)更高185nm穿透率、實(shí)時(shí)在線(xiàn)的紫外線(xiàn)強度監測、本地/遠程的智能控制,實(shí)現高效、安全可控的總有機碳 (TOC) 降解。該設備在超純水制備工藝中,可使超純水TOC降至1ppb以下。

    產(chǎn)品主要組成:高強度185nm的紫外燈管,高輸出石英套管,內外電解拋光的一體化紫外反應器,高度精確的UV強度傳感器及智能自控系統組成。

     

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    TOC超純水設備

    產(chǎn)品規格:

    處理水量

    2~60m3/h

    燈管配置

    12~48支

    燈管類(lèi)型

    85w/155w(185/254nm雙波段)

    石英套管

    T>80%@185nm

    鎮流器

    50~100%輸出功率可調

    反應器材質(zhì)

    316L

    潔凈等級

    內外電解拋光、表面光潔度10以上(≤Ra0.2)

    法蘭尺寸

    DN50~DN200

    額定壓力

    PN10

    控制柜等級

    IP55,碳鋼噴塑

    控制系統

    本地/遠程、觸摸屏、連接SCADA系統

    UV強度傳感器

    分辨率0.01mw/cm2

     

     

     

     

     

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